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毫米波技术已经在各种重要技术领域获得瞩目的应用,毫米波半导体元器件成为毫米波系统应用中必不可少的核心部件。在毫米波二端口器件方面,介绍了肖特基势垒二极管、雪崩二极管以及耿氏二极管的技术及其发展,在毫米波三端口器件方面,介绍了高电子迁移率晶体管和异质结双极晶体管的技术及其发展,为国内发展自主的毫米波半导体元器件技术,提供必要的参考依据和研究思路。