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以甲烷、氢气做为气源,利用微波等离子气相沉积的方法在硅片上沉积金刚石薄膜.研究了不同浓度的甲烷对金刚石薄膜形貌和晶向的影响.结果表明：当甲烷浓度为2.44％时,金刚石薄膜晶粒尺寸小,晶形较差,晶面取向以（111）、（220）面为主;甲烷浓度为0.50％时,金刚石薄膜晶粒尺寸较大,晶粒棱角分明,晶面取向以（111）面为主.