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以TaCl5和NbCl5为原料制备了乙醇钽和乙醇铌，对溶胶-凝胶法制备KTa1-xNbxO3薄膜的工艺过程、影响因素进行了研究，提出了优化的制备工艺，采用溶胶-凝胶法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备了组分梯度复合KTa1-xNxO3热释电薄膜。
采用Sol—gel法制备梯度复合热释电薄膜
【摘 要】
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以TaCl5和NbCl5为原料制备了乙醇钽和乙醇铌，对溶胶-凝胶法制备KTa1-xNbxO3薄膜的工艺过程、影响因素进行了研究，提出了优化的制备工艺，采用溶胶-凝胶法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备
【机 构】
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湖北大学化学与材料学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2006年3期
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