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粉末靶磁控溅射制备F掺杂SnO<sub>2</sub>薄膜的结构及光学性能
粉末靶磁控溅射制备F掺杂SnO<sub>2</sub>薄膜的结构及光学性能
来源 :材料保护 | 被引量 : 0次 | 上传用户:GISSeven
【摘 要】
:
采用粉末靶射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备氟掺杂二氧化锡(FTO)薄膜。结果表明:制备的样品为多晶薄膜,具有二氧化锡的四方金红石结构。沉积气氛的含氧量增加,会使薄膜的主要
【作 者】
:
宁洁
周艳文
樊子铭
【机 构】
:
辽宁科技大学材料与冶金学院
【出 处】
:
材料保护
【发表日期】
:
2014年S1期
【关键词】
:
磁控溅射
二氧化锡
结构
光学性能
粉末靶
magnetron sputtering
tin oxide
structural
optical prope
【基金项目】
:
国家自然科学基金(51172101,51372109),辽宁省高等学校优秀人才支持计划(LR2012009)资助
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采用粉末靶射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备氟掺杂二氧化锡(FTO)薄膜。结果表明:制备的样品为多晶薄膜,具有二氧化锡的四方金红石结构。沉积气氛的含氧量增加,会使薄膜的主要择优取向由(211)转变成(110)。除沉积气氛中无氧的超厚薄膜外,其他FTO可见光区平均透光率可达90%。
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