【摘 要】
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电子学以应用为主要目的,是一门主要研究电子的特性和行为以及电子器件的物理学科.作为其分支学科,微电子技术是随着集成电路,尤其是超大规模集成电路而发展起来的一门新的技
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电子学以应用为主要目的,是一门主要研究电子的特性和行为以及电子器件的物理学科.作为其分支学科,微电子技术是随着集成电路,尤其是超大规模集成电路而发展起来的一门新的技术,包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等.是微电子学中的各项工艺技术的总和.其发展水平和产业规模已经成为一个国家经济实力的重要标志.北方工业大学姜岩峰教授就是一位耕耘在微电子领域的学者.
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