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TiO2-xTa2O5薄膜是较新颖的光学薄膜，由均匀混合的两种化合物薄膜材料作为膜料研制而成，本文采用离子辅助蒸发的方法，以不同配比的Ta2O5和TiO2混合物为初始膜料在K9玻璃上制备了TiO2-xTa2O5混合薄膜，并对其光学性能进行研究。实验结果表明，TiO2-Ta2O5薄膜在可见光范围内有较高的透射率，消光系数在10-3～10．4数量级，折射率在1．80～2．07范围内变化（550nm），是理想的光学镀膜材料。随着Ta2O5含量从0增加到20％，光学带隙从3．266eV单调增加到3．417eV，并