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利用有限单元法对影响金属薄膜沉积初期的因素进行了计算机模拟．按膜料为Pt、Pt-Ru、Pt-Ti、Pt-Ni、Pt-Al等五种模式，采用刚性球入射到C或Si基底，重点研究了沉积原子的半径差异比、沉积原子能量和原子入射角等参数对薄膜沉积的影响，同时检验了有限元方法在微观领域中的合理性和适用性.
影响金属薄膜沉积初期因素的有限单元法模拟
【摘 要】
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利用有限单元法对影响金属薄膜沉积初期的因素进行了计算机模拟．按膜料为Pt、Pt-Ru、Pt-Ti、Pt-Ni、Pt-Al等五种模式，采用刚性球入射到C或Si基底，重点研究了沉积原子的半径差异
【机 构】
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昆明理工大学材料与冶金工程学院,昆明贵金属研究所
【出 处】
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材料科学与工艺
【发表日期】
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2007年2期
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