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Motif方法是一种新的表面形貌评定方法,通过设定不同的阈值,可以将波度和表面粗糙度分离开来,它强调大的轮廓峰和谷对功能的影响,在评定中选取了重要的轮廓特征,而忽略了不重要的特征.介绍了2维Motif的参数和合并条件,然后对3维Motif方法的定义、评定参数及算法等进行了综述,并提出了推广这一评定方法需要注意的问题.