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针对现有的微波功率测量都基于热电偶和二极管等终端器件，功率信号在被检测后无法利用的问题，设计了一个基于微机电（MEMS）射频（RF）并联开关在Ku波段（12．4～18GHz）应用的微波功率耦合器，包括等效电路、共面波导（CPW）匹配的设计和结构仿真。该耦合器是MEMS微波功率传感器的核心，它利用MEMS膜桥耦合CPW上的微波功率信号，大部分功率信号被检测后都能传至下级电路做进一步处理。为了减小反射损耗和获得宽频带响应，提出了两种优化方法，即凹槽调谐结构设计和补偿电容设计，经过优化设计后的Ku波段MEMS微