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本文研究了等离子法合成超细氮化钛反应动力学,建立了TiCl4-NH3-H2-N2系统在高频等离子反应器中气相合成超细TiN粉末的反应动力学模型,对影响反应速度的主要因素进行了分析,为控制TiN产品的质量及对等离子反应器的优化设计提供了理论依据。
高频等离子法制取超细氮化钛反应动力学研究
【摘 要】
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本文研究了等离子法合成超细氮化钛反应动力学,建立了TiCl4-NH3-H2-N2系统在高频等离子反应器中气相合成超细TiN粉末的反应动力学模型,对影响反应速度的主要因素进行了分析,
【机 构】
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成都科技大学环境科学及工程系,成都科技大学副教授成都（610065）
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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1990年1期
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