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<正> 高纯三甲基镓、三甲基铝、三乙基铝是实现MOCVD(金属有机化合物气相沉积)工艺,制备化合物半导体材料的重要金属源,长期以来依靠进口。化工部光明化工研究所
高纯三甲基镓、三甲基铝、三乙基铝
【摘 要】
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<正> 高纯三甲基镓、三甲基铝、三乙基铝是实现MOCVD(金属有机化合物气相沉积)工艺,制备化合物半导体材料的重要金属源,长期以来依靠进口。化工部光明化工研究所
【出 处】
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广东化工
【发表日期】
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1991年01期
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