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采用混凝气浮工艺对生化后的TFT-LCD行业有机废水进行深度处理，研究了PAC投加量、pH值、上浮剂投加量以及溶气压力对废水的浊度、SDI以及TOC去除率的影响。试验结果表明，在进水量为1.0 m3/h，pH值为6.5 ～ 7.0，10% PAC投加量为150 mg/L，上浮剂投加量为3 mg/L，溶气压力为0.3 MPa的工艺条件下，可以有效去除废水中的浊度、SDI以及TOC。TFT-LCD行业生化后的有机废水经混凝气浮工艺深度处理后，产水满足反渗透装置进水水质要求，可通过反渗透装置进一步制备成超纯水。