【摘 要】
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为了实现对轮船发动机故障监测系统的可持续供电,针对轮船发动机振动特性以及故障监测系统应用需求,设计了一种基于d31工作模式的微机电系统（MEMS）压电振动能量收集器。该能量
【机 构】
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重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆大学微系统研究中心,中国电子科技集团公司第四十四研究所
【基金项目】
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中央高校基本科研业务费专项基金资助项目(106112015CDJXY120002)
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为了实现对轮船发动机故障监测系统的可持续供电,针对轮船发动机振动特性以及故障监测系统应用需求,设计了一种基于d31工作模式的微机电系统（MEMS）压电振动能量收集器。该能量收集器采用了共质量块压电悬臂梁阵列结构,与传统单梁结构相比,其降低了MEMS压电振动能量收集器的机械阻尼。通过ANSYS软件对结构进行了优化设计,得到压电悬臂梁的优化尺寸为2.72mm×3.55mm×0.125mm,硅质量块的优化尺寸为14mm×8.45 mm×0.575 mm。设计了器件的加工工
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