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本文阐述了硅晶片金刚线多线切割原理,并对自主研发的硅晶片多线切割机及其工艺作了介绍。
硅晶片金刚线多线切割机
【摘 要】
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本文阐述了硅晶片金刚线多线切割原理,并对自主研发的硅晶片多线切割机及其工艺作了介绍。
【机 构】
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新余银龙机电科技有限公司
【出 处】
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现代机械
【发表日期】
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2013年01期
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