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概述了晶圆键合技术(WB)和微电子机械系统(MEMS)的新进展.介绍了晶圆键合工艺、技术要求、应用选择以及对MEMS的作用;展示了MEMS制造技术和应用前景.
晶圆键合技术与微电子机械系统新进展
【摘 要】
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概述了晶圆键合技术(WB)和微电子机械系统(MEMS)的新进展.介绍了晶圆键合工艺、技术要求、应用选择以及对MEMS的作用;展示了MEMS制造技术和应用前景.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年7期
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