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补偿器法是测量非球面反射镜面形误差的一种重要的方法。在检测过程中,各个元件之间的调整会带来初级像差,这是影响最终检测结果的一个关键因素。本文以一个1m口径的非球面反射镜为例,首先详述了其面形误差检测的设计和测量过程,然后分析了各个元件的调整会带来相应的初级像差,随后给出了实际检测过程中出现的误区,并对其进行了分析和讨论,结合实际的检测过程得出了相应的判断和消除的方法。最后,分别对300mm、700mm口径非球面反射镜与本文1m非球面镜的检测结果进行了比较,证明了该误区会使最后的检测数据发生变化,从而使最后