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采用H2O2对纳米Zn粉进行两步氧化,制备出不同的纳米ZnO气敏元件.物相结构和形貌表征结果表明:650℃热氧化2h后纳米Zn粉已经完全氧化成纯相ZnO,预氧化阶段,纳米Zn粉在H2O2中的比例为20g/L时,针状氧化物生长最为茂密.气敏性能测试表明:纳米Zn粉在H2O2中比例为20g/L时制备的气敏元件对苯、甲苯、二甲苯的灵敏度最高,其在320℃处的灵敏度分别达到9.9,11.8,13.