【摘 要】
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通过控制氮气流量(20~60cm^3·min^-1),采用反应磁控溅射技术分别在不锈钢和硅片基底上制备CrNx涂层,研究了氮气流量对涂层物相组成、显微组织、纳米压痕力学性能、摩擦
【机 构】
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所,中国科学院大学,北京小米移动软件有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51475450),国家重点研发项目(2016YFB0300604)
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通过控制氮气流量(20~60cm^3·min^-1),采用反应磁控溅射技术分别在不锈钢和硅片基底上制备CrNx涂层,研究了氮气流量对涂层物相组成、显微组织、纳米压痕力学性能、摩擦学性能以及在质量分数3.5%NaCl溶液中电化学腐蚀性能的影响。结果表明:不同氮气流量下的CrNx涂层均表现出柱状晶结构;随着氮气流量的增加,CrNx涂层的物相经历了Cr→Cr2N→CrN的变化,纳米压痕硬度和弹性模量均先增后降,平均摩擦因数和磨损率先降后增再降,耐腐蚀性能则先变好后变差;当氮气流量为30cm^3
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