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大口径碳化硅反射镜高效磨削实时补偿技术

来源 :光学技术 | 被引量 : 2次 | 上传用户：linjr82

【摘 要】

：

碳化硅陶瓷作为光学材料已在空间相机反射镜中得到了广泛应用,而在碳化硅反射镜磨削加工过程中,砂轮会产生径向磨损,导致砂轮的形状精度发生较大变化,这将直接影响碳化硅反射镜的加工精度和加工周期。为保证磨削质量,需要对砂轮磨削产生的误差进行补偿。通过工艺试验,获得不同加工参数和加工时间下的误差补偿值,再利用五轴联动数控机床并结合UG(NX)软件快速建立母线误差曲线的补偿模型,从而实现整个磨削过程中的磨削误

【作 者】

：

于建海 于秋跃 房安利 程小权 

【机 构】

：

北京空间机电研究所,北京100094国防科技工业光学超精密加工技术创新中心(先进制造类),北京100094

【出 处】

：

光学技术

【发表日期】

：

2020年04期

【关键词】

：

光学材料 大口径 碳化硅 高效磨削 误差补偿 optical materials l arge aperture silicon carbide high ef 

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碳化硅陶瓷作为光学材料已在空间相机反射镜中得到了广泛应用,而在碳化硅反射镜磨削加工过程中,砂轮会产生径向磨损,导致砂轮的形状精度发生较大变化,这将直接影响碳化硅反射镜的加工精度和加工周期。为保证磨削质量,需要对砂轮磨削产生的误差进行补偿。通过工艺试验,获得不同加工参数和加工时间下的误差补偿值,再利用五轴联动数控机床并结合UG(NX)软件快速建立母线误差曲线的补偿模型,从而实现整个磨削过程中的磨削误差实时补偿。针对Φ1.6m口径碳化硅同轴非球面反射镜,经过磨削补偿加工后的反射镜面型误差PV为27.4μ

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