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利用新型中频对靶磁控溅射在硅和M2高速钢基体上沉积了一系列无氢含铬类金刚石膜.考察了类金刚石膜的表面形貌、显微结构、硬度、结合力和摩擦磨损性能.结果表明：合成的类金刚石薄膜具有优良的综合性能,硬度为30-46GPa、结合力Lc达50-65N、大气环境下摩擦系数约为0.1.
中频对靶磁控溅射制备含铬类金刚石薄膜
【摘 要】
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利用新型中频对靶磁控溅射在硅和M2高速钢基体上沉积了一系列无氢含铬类金刚石膜.考察了类金刚石膜的表面形貌、显微结构、硬度、结合力和摩擦磨损性能.结果表明：合成的类金刚
【机 构】
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中国地质大学（北京）工程技术学院,北京实力源科技有限公司
【出 处】
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材料热处理学报
【发表日期】
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2006年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（50475057）,清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金资助项目
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