【摘 要】
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提出一种基于条纹反射的光学表面疵病检测方法，检测系统由液晶显示屏、CCD相机和计算机组成．检测时在显示屏上分别显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹，用CCD相机记录经被测
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提出一种基于条纹反射的光学表面疵病检测方法，检测系统由液晶显示屏、CCD相机和计算机组成．检测时在显示屏上分别显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹，用CCD相机记录经被测表面反射的正弦条纹像，通过相移技术得到两个方向正交的相位分布和对比度分布，通过对比度分布确定被测表面的疵病位置．被测面表面面形相关信息包含在相位分布中，其表面疵病细节信息包含在局部微观相位分布之中．对相位分布进行多项式拟合后相减得到疵病引起的微观相位分布，计算得到表面疵病的梯度分布，积分得其高度分布．实验验证了该方法的可行性．
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