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英特尔寻求半导体设备突破,以跟上摩尔定律
英特尔寻求半导体设备突破,以跟上摩尔定律
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cyuaxl
【摘 要】
:
IC制造业成本高企,半导体设备产业需要新的、成本可承受的创新。英特尔公司制造技术部副总裁兼制造技术工程部总经理Jai Hakhu表示,半导体设备行业中,在若干个关键的领域上面临
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2004年7期
【关键词】
:
英特尔公司
半导体设备行业
65nm晶圆设备
晶粒切割
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IC制造业成本高企,半导体设备产业需要新的、成本可承受的创新。英特尔公司制造技术部副总裁兼制造技术工程部总经理Jai Hakhu表示,半导体设备行业中,在若干个关键的领域上面临许多挑战,诸如化学机械研磨
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