【摘 要】
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根据化学镀CoB薄膜试验得到镀液中反应物浓度、pH值、温度以及对应沉积速率.利用回归分析法,建立一元线性回归处理的数学模型和多元线性回归处理的数学模型.实验数据的拟合程
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根据化学镀CoB薄膜试验得到镀液中反应物浓度、pH值、温度以及对应沉积速率.利用回归分析法,建立一元线性回归处理的数学模型和多元线性回归处理的数学模型.实验数据的拟合程度用相关系数R与剩余方差S来表征,借助于计算机编程运算,求出回归系数的估计值b0-3、估计值的置信区间、残差r、残差的置信区间rint.分别确定上述诸因素所对应的反应动力学参数,并求出镀液中反应物浓度、pH值、温度与对应沉积速率的对数关系曲线表达式,导得了镀液沉积速率的方程式.优化了实验方案,确定了镀液的构成和工艺条件,成功制备了性能良好的
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