【摘 要】
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用透射电镜（TEM）观察了用直流磁控溅射法制备的厚度为1．5nm～67nm的半连续Ag膜的形貌，并用多重分形理论定量表征不同厚度半连续Ag膜中Ag小岛的面分布均匀性及其尺寸分布。结果显示：
【机 构】
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安徽大学物理与材料科学学院,安徽教育学院物理与电子工程系,安徽大学电子科学与技术学院
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用透射电镜（TEM）观察了用直流磁控溅射法制备的厚度为1．5nm～67nm的半连续Ag膜的形貌，并用多重分形理论定量表征不同厚度半连续Ag膜中Ag小岛的面分布均匀性及其尺寸分布。结果显示：随着薄膜厚度的增加，多重分形谱的谱宽△a先增大后减小，在6nm～12nm之间出现最大值，表明薄膜中小岛的面分布均匀性是由均匀到不均匀再到均匀的变化过程；当薄膜厚度达到某一临界值（在12nm～67nm之间）时，△f，从〈0向〉0发生转变，此时薄膜中小岛的尺寸分布由较大程度上取决于体积最小的小岛向较大程度上取决于体积最大的小
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