TiAlN，CrAlN和TiCrN涂层的制备及摩擦学性能研究

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【摘要】

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运用直流和射频磁控共溅射的方法制备TiAlN、CrAlN和TiCrN3种涂层，研究涂层的力学性能及在空气和水基切削液中的摩擦学性能，揭示其磨损机制。研究发现，Al元素主要以固溶体形式存

【作者】

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吴志威史洪斌吴泽本周飞

【机构】

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南京林业大学机电学院,南京航空航天大学机电学院

【出处】

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润滑与密封

【发表日期】

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2018年2期

【关键词】

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TIALN涂层 CrAlN涂层 TiCrN涂层摩擦特性 TiA1N coating CrA1N coating TiCrN coating fric

【基金项目】

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国家自然科学基金项目（51375231）,2016年大学生创新创业训练计划项目（2016NFUSPITP045）.

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运用直流和射频磁控共溅射的方法制备TiAlN、CrAlN和TiCrN3种涂层，研究涂层的力学性能及在空气和水基切削液中的摩擦学性能，揭示其磨损机制。研究发现，Al元素主要以固溶体形式存在于TiAlN和CrAlN涂层内；3种涂层的显微硬度分别为HV719．3、HV1022．5和HV973．5。在空气中TiAlN、CrAlN和TiCrN涂层与SUS440C钢球对摩的稳态摩擦因数分别为1．25、1．14和1．31，TiAlN和CrAIN涂层的磨损机制主要是氧化磨损，而CrTiN涂层以磨粒磨损为主：而在水基切削液

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