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,The etching of a-plane GaN epilayers grown by metal-organic chemical vapour deposition
【作 者】
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【机 构】
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School of Microelectronics,Xidian University,Xi’an 710071,China and National Key Laboratory of Funda
【出 处】
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中国物理B（英文版）
【发表日期】
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2010年10期
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