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硅纳米线的制备与热氧化处理

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ai2009ni

【摘 要】

：

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

【作 者】

：

逯小慈  李常青 

【出 处】

：

微电子学

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

金属催化化学腐蚀法 硅纳米线 热氧化处理 

【基金项目】

：

河南省基础前沿项目(152300410023)

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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技术领域,包括主机、控制电路和计算机三部分组成,主机包括由棱镜。敏感膜敏感芯片、半导 Ue*M#

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