CrN薄膜的制备及其抗氧化性的研究

来源 :第四届现代切削与测量工程国际会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:uk1030
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  本文采用热阴极离子镀技术,成功制备了高质量的CrN薄膜,对CrN薄膜进行了500.C一800.C的氧化实验。用高精度天平测量其质量变化、显微硬度计测量膜层硬度、XPd)、XPS测茸膜层结构、划痕仪测量膜层与基体的结合力等分析研究。实验结果表明:①利用热阴极离子镀技术能够制备出CrN硬质薄膜.在不同的工艺条件下,可以制备出具有面心立方结构和密排六方结构的CrN和Cr2N混合相薄膜,最高显微硬度2300HV;②所制备的CrN膜层与基体结合力较好,最高结合强度达到68N;③CxN薄膜在700.C仍具有较好的力学性能,且膜层与基体的结合力较好。
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