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介绍了一种光栅横向位移遥测传感器，被测位移和光束方向垂直。该系统利用激光光栅的多普勒效应进行测量，采用差动光路结构．理论计算和实验表明，此系统测量范围大、信号质量好、分辨力和测量精度高，并具有很大景深范围，可应用于具体生产环境中的位移遥测。
激光光栅多普勒横向位移遥测传感器
【摘 要】
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介绍了一种光栅横向位移遥测传感器，被测位移和光束方向垂直。该系统利用激光光栅的多普勒效应进行测量，采用差动光路结构．理论计算和实验表明，此系统测量范围大、信号质量好、分辨力和测量精度高，并具有很大景深范围，可应用于具体生产环境中的位移遥测。
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津大学精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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1999年02期
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