【摘 要】
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采用集成电路工艺做成多层的集成传感器是半导体传感器的发展方向。如把硅压阻传感器、放大器与模/数转换器等都集成在一个芯片上,构成数字输出的集成传感器。再如把光源、
【机 构】
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北京航空航天大学 教授 中国仪器仪表学会常务理事 中国传感器学会副理事长
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采用集成电路工艺做成多层的集成传感器是半导体传感器的发展方向。如把硅压阻传感器、放大器与模/数转换器等都集成在一个芯片上,构成数字输出的集成传感器。再如把光源、感光元件、光电流放大器集成在一起成为多功能光电传感器,在此基础上又发展为光一光传感器,即传感器的输入和输出都是光信号。这种传感器与光纤传输和
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