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综述了氧化物薄膜电化学沉积的工艺条件与参数及其影响，给出了氧化物薄膜沉积的对象，描述了氧化物薄膜的作用和用途。
氧化物薄膜电化学沉积的研究进展
【摘 要】
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综述了氧化物薄膜电化学沉积的工艺条件与参数及其影响，给出了氧化物薄膜沉积的对象，描述了氧化物薄膜的作用和用途。
【机 构】
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北京化工大学材料科学与工程学院,孝感学院
【出 处】
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材料保护
【发表日期】
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2002年2期
【基金项目】
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教育部环境断裂重点实验室基金资助
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