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ZnO因其特殊六方晶体结构而具有优异的压电、光电和压敏等特性,已广泛应用于传感器、发光器件和新能源等领域。本文利用COMSOL Multiphysics软件对ZnO薄膜的压电效应进行仿真,通过在直接受力的情况下测量模型表面的电势,成功观察到了ZnO薄膜压电效应的线性特性;模拟了压电传感器模型在分布结构改变时,其压电系数随其变化的规律。仿真结果表明,ZnO薄膜作为压电材料具有将机械能转换为电能的优良特性。