高分辨率热场发射显微镜(HRTFEM)

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1937年E.W.Müller[1]发明了场发射显微镜(FEM),直到最近[2],人们一直认为FEM的分辨力只能在2nm上下,因而不能像场离子显微镜(FIM)那样可以分辨原子[3]。我们认为FEM的分辨力在理论上可以接近0.1nm,2nm并不是FEM的理论极限,而是人们在实际上一直未能用FEM所超过的水平。其原因 In 1937, EW Müller [1] invented a field emission microscope (FEM). Until recently [2], the resolution of FEM has been considered to be only about 2 nm, so it can not distinguish atoms like the FIM ]. In our opinion, the resolution of FEM can theoretically be close to 0.1nm. 2nm is not the theoretical limit of FEM. It is the level that people have actually failed to use the FEM. The reason
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