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以ZrO2为载体，正硅酸乙酯（TEOS）、乙醇、水为原料，制备了纳米级孔径的SiO：超滤膜，并用液-液排除法和扫描电子显微镜进行表征。考察了溶胶粘度、涂膜时间和支撑体孔径对成膜效果的影响。研究结果表明，合适的制膜参数为：溶胶配比n（TEOS）／n（水）／n（乙醇）=1／8／4，涂膜时间30s，支撑体孔径35nm左右。四次涂膜可以得到最可几孔半径为1．96nm的SiO2膜；在操作压力0．10MPa下，其对正己烷／氮气的分离因子可达到1．61，进一步改性后用于有机蒸气／氮气的分离。