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ITO薄膜激光刻蚀设备是由激光对附着在玻璃及PET Film上的ITO薄膜实施剥离加工的精密尖端设备，与其他激光设备一样，在其工作过程中对激光的开关控制是很重要的一环。本文重点介绍了位置随动系统在控制激光器中的应用，以及此系统的优势所在。
位置随动系统在ITO薄膜激光刻蚀设备中的运用
【摘 要】
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ITO薄膜激光刻蚀设备是由激光对附着在玻璃及PET Film上的ITO薄膜实施剥离加工的精密尖端设备，与其他激光设备一样，在其工作过程中对激光的开关控制是很重要的一环。本文重点介
【机 构】
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苏州大学控制理论与控制工程专业
【出 处】
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中国高新技术企业
【发表日期】
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2008年24期
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