【摘 要】
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<正> 非晶硅薄膜色敏元件是采用等离子CVD工艺制造的一种高性能的色敏元件,以该元件研制的色度传感器灵敏度高,重复性好,下面介绍该元件的结构、制造、工作原理、特点、功能
【机 构】
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机械电子工业部沈阳仪器仪表工艺研究所
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<正> 非晶硅薄膜色敏元件是采用等离子CVD工艺制造的一种高性能的色敏元件,以该元件研制的色度传感器灵敏度高,重复性好,下面介绍该元件的结构、制造、工作原理、特点、功能和用途。本色敏元件采用PIN结构,P层采用掺杂碳的工艺作成碳化非晶硅,即为TCO/P-a-SiC∶H/I-a-Si∶H/N-a-Si∶H/Al结构。PIN各层厚度分别为10～12nm、40～50nm、400～500nm,透明导电膜（TCO）采用SnO2膜,背面蒸AI为引线电极,元件结构示于图1。
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