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详述了扫描电镜的工作原理,特点;SU8020扫描电镜基本结构和光学系统的详细构成,以及如何使SU8020扫描电镜更快,更好地进行光学系统的合轴调试,从而使SU8020扫描电镜处于最佳的工作状态。
基于SU8020扫描电镜光学系统合轴研究
【摘 要】
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详述了扫描电镜的工作原理,特点;SU8020扫描电镜基本结构和光学系统的详细构成,以及如何使SU8020扫描电镜更快,更好地进行光学系统的合轴调试,从而使SU8020扫描电镜处于最佳
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2017年1期
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