[（BaTiO3）m／（SrTiO3）m]n超晶格生长的RHEED实时研究

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wik2pwerq32

【摘要】

：

利用反射高能电子衍射(RHEED),研究了在SrTiO3(100)基片上采用激光分子束外延法生长的[(Ba-TiO3)m/(SrTiO3)m]n超晶格薄膜的生长特性.观察到清晰明亮的反射高能电子衍射花样

【作者】

：

魏雄邦姜斌李燕邓宏蒋书文张鹰姚海军

【机构】

：

电子科技大学

【出处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

反射高能电子衍射(RHEED) 超晶格外延生长 RHEED superlattices epitaxy growth

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利用反射高能电子衍射(RHEED),研究了在SrTiO3(100)基片上采用激光分子束外延法生长的[(Ba-TiO3)m/(SrTiO3)m]n超晶格薄膜的生长特性.观察到清晰明亮的反射高能电子衍射花样及富有周期性的RHEED振荡曲线,制备的超晶格呈现良好的结晶层状外延生长,薄膜表面及界面的平整度很好.

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