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采用测量光束衍射角的方法，设计了一种作为标准块的光栅线距测量仪。实验表明，在实验室条件（20±1）℃，（760±10）mmHg的工作条件下，该测量仪可以测量线距800nm的光栅，测量不确定度在10^-5。
光栅线距测量仪的设计
【摘 要】
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采用测量光束衍射角的方法，设计了一种作为标准块的光栅线距测量仪。实验表明，在实验室条件（20±1）℃，（760±10）mmHg的工作条件下，该测量仪可以测量线距800nm的光栅，测量不确
【机 构】
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唐山学院基础教学部
【出 处】
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唐山学院学报
【发表日期】
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2012年3期
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