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本文主要介绍微机电系统特点、发展方向、应用领域。
This article introduces the characteristics of MEMS, the development direction, application areas.
浅谈微机电系统技术
【摘 要】
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本文主要介绍微机电系统特点、发展方向、应用领域。
This article introduces the characteristics of MEMS, the development direction, application areas.
【机 构】
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哈尔滨理工大学,哈尔滨电力职业技术学院,
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2004年01期
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