【摘 要】
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在微观结构中,摩擦及磨损严重地影响着部件的力学性能和可靠性.不同材料的摩擦系数相差很大,多晶硅和多晶硅之间的静摩擦系数约4.9,多晶硅和单晶硅之间的静摩擦系数约0.48～0.2
【机 构】
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清华大学微电子学研究所,北京市,100084
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在微观结构中,摩擦及磨损严重地影响着部件的力学性能和可靠性.不同材料的摩擦系数相差很大,多晶硅和多晶硅之间的静摩擦系数约4.9,多晶硅和单晶硅之间的静摩擦系数约0.48～0.28、动摩擦系数约0.35～0.20,材料表面的粗糙度对摩擦系数影响也很大.鉴于此,提出了一种单晶硅台面结构晃动微马达,取代多晶硅表面微机械工艺制作的多晶硅法兰盘.它具有机械强度高、摩擦系数小、抗磨损、不塌陷等优点.马达的轴也加工成实心轴,克服了轴因磨损和受力而变形的问题.使得马达的寿命大大提高.摩擦力减少,马达性能改善,使马达的可靠性得到了较大的提高.
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