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利用有限差分法对脉冲激光沉积（PLD）技术制备ZnO薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了研究，给出了其中主要粒子Zn和0在空间的具体演化规律。从模拟的结果可以看出，Zn,O在同一方向的速度演化趋势相似，在不同方向同种粒子速度演化趋势不同。
脉冲激光沉积ZnO薄膜动力学过程研究
【摘 要】
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利用有限差分法对脉冲激光沉积（PLD）技术制备ZnO薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了研究，给出了其中主要粒子Zn和0在空间的具体演化规律。从模拟的结果可
【机 构】
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江西蓝天学院
【出 处】
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安庆师范学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2008年3期
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