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激光器的谐振腔在实际装配过程及运行过程中很难保证完全调准,因此研究谐振腔的稳定性十分必要.采用“Rigord分析法”分析了抛物面镜离轴非稳腔和球面镜腔角度失调时功率提取效率的变化,对腔长改变时两种谐振腔的输出特性进行了讨论,同时研究了腔镜曲率半径增大的抛物面镜离轴非稳腔的稳定性.结果 表明,当失调角度在±6 mrad变化时,抛物面镜腔的功率提取效率比球面镜腔高5.6％;当谐振腔腔长的变化值在-1～1 mm的范围内时,抛物面镜离轴非稳腔的功率提取效率比球面镜腔高3.5％;当谐振腔腔镜曲率半径增加2 mm时,抛物面镜腔的功率提取效率增加,且抗失调特性更好.