【摘 要】
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采用共蒸发法在不同条件下制备了ZnTe和ZnTe:Cu多晶薄膜,通过XRD和XPS研究了它们的结构和各元素的浓度分布.结果表明,不同衬底温度下沉积的薄膜,结构无明显变化,利用XPS溅射
【机 构】
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四川大学材料科学系,中国工程物理研究院
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划);教育部高等学校博士学科点专项科研基金;四川省应用基础研究项目
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采用共蒸发法在不同条件下制备了ZnTe和ZnTe:Cu多晶薄膜,通过XRD和XPS研究了它们的结构和各元素的浓度分布.结果表明,不同衬底温度下沉积的薄膜,结构无明显变化,利用XPS溅射剖析获得了薄膜中各成分浓度随溅射时间变化的分布图,发现不同条件下制备的薄膜,溅射速率不同,各成分随溅射时间的变化也不相同.薄膜中Cu的浓度随溅射时间增加而快速增加,并达到一极大值,然后快速下降.根据Cu浓度的变化研究了ZnTe层对Cu原子的阻挡作用,通过对Cu浓度随时间变化分布图的比较,作者认为,用70℃制备ZnTe,而后在常温下制备ZnTe:Cu的复合膜作为CdTe太阳电池的背接触层,能有效阻挡Cu原子的扩散,提高电池效率.
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