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本传感器主要用来精确测量大的压力的微小波动值，。使用前，应参照被测压力值对传感器充电一定压力的空气，测量时，籍助于特制的无张力膜使传感器内部压力跟踪外界压力，当阀门关闭时，传感器可以测量压力的波动值，当阀门开启时，传感器可以测量静压。
新型测量压力波动的传感器
【摘 要】
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本传感器主要用来精确测量大的压力的微小波动值，。使用前，应参照被测压力值对传感器充电一定压力的空气，测量时，籍助于特制的无张力膜使传感器内部压力跟踪外界压力，当阀门关闭时
【出 处】
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上海微电子技术和应用
【发表日期】
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1996年2期
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