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沈阳科仪“IC成膜PECVD设备研发和产业化”项目近日通过验收，PECVD部总经理姜谦表示，沈阳科仪将以高品质的PECVD设备服务客户。
沈阳科仪以高质量PECVD设备服务半导体业
【摘 要】
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沈阳科仪“IC成膜PECVD设备研发和产业化”项目近日通过验收，PECVD部总经理姜谦表示，沈阳科仪将以高品质的PECVD设备服务客户。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年8期
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