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为了提高硅片传输机器人运动的平滑性,采用5次均匀B样条插值方法进行轨迹规划,并利用两种遗传算法对轨迹进行优化。以硅片传输机器人为研究对象,基于ADAMS软件对机器人进行轨迹仿真分析。结果表明,自适应混合遗传算法与自适应遗传算法相比,具有较好的局部搜索能力,能够得到性能更好的解。获得的轨迹具有脉动连续的特点,有利于提高机器人在运动过程中的轨迹跟踪精度。