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本文对ＭＣＴ的核心工艺－三重扩散工艺进行了详细研究。通过ＳＵＰＲＥＭ－Ⅲ计算机工艺仿真，获得了三重扩散的工艺条件。
MOS控制晶闸管的三重扩散工艺研究
【摘 要】
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本文对ＭＣＴ的核心工艺－三重扩散工艺进行了详细研究。通过ＳＵＰＲＥＭ－Ⅲ计算机工艺仿真，获得了三重扩散的工艺条件。
【机 构】
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成都电子科技大学微电子所,骊山微电子研究所
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1996年5期
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