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电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术研究及应用进展
电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术研究及应用进展
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pausecn
【摘 要】
:
概述了近几年来快速发展的新兴材料加工工艺技术——电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术的研究及应用现状,着重阐述了电子束物理气相沉积(EB-PVD)过程的主要工艺参数和制备高温合金板
【作 者】
:
刘景顺
曾岗
李明伟
杨森
郭洪飞
【机 构】
:
内蒙古工业大学材料科学与工程学院,哈尔滨工业大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2007年F11期
【关键词】
:
电子束物理气相沉积(EB-PVD)
应用
工艺参数
形成机理
electron beam-physical vapor deposition (EB-PVD)
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概述了近几年来快速发展的新兴材料加工工艺技术——电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术的研究及应用现状,着重阐述了电子束物理气相沉积(EB-PVD)过程的主要工艺参数和制备高温合金板材显微组织的形成机理。
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