【摘 要】
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低温下在电子回旋共振等离子中制备ＳｉＧｅ栅氧化物＝ＳｉＧｅｇａｔｅｏｘｉｄｅｐｒｅｐａｒｅｄａｔｌｏｗｔｅｍ－ｐｅｒａｔｕｒｅｉｎａｎｅｌｅｃｔｒｏｎｃｙｃｌｏｔｒｏｎｒｅｓｏｎａｎｃｅｐｌａｓｍａ［刊．英］／Ｌｉ．Ｐ．Ｗ．…Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅ...
Preparation of SiGe Gate Oxide in Electron Cyclotron Resonance Plasma at Low Temperature = SiGegateoxideprepa
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低温下在电子回旋共振等离子中制备ＳｉＧｅ栅氧化物＝ＳｉＧｅｇａｔｅｏｘｉｄｅｐｒｅｐａｒｅｄａｔｌｏｗｔｅｍ－ｐｅｒａｔｕｒｅｉｎａｎｅｌｅｃｔｒｏｎｃｙｃｌｏｔｒｏｎｒｅｓｏｎａｎｃｅｐｌａｓｍａ［刊．英］／Ｌｉ．Ｐ．Ｗ．…Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅ...
Preparation of SiGe Gate Oxide in Electron Cyclotron Resonance Plasma at Low Temperature = SiGegateoxidepreparedatlowtem-peratureinanelectroncyclotronresonanceplasma []. English] / Li. P. W. ... Appl. Phys. Le ...
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